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EDX、EDS、XRF三者皆為X射線熒光光譜。
EDX指的是能量散射型X射線熒光光譜儀，也有人叫EDXRF。
EDS(Energy Dispersive Spectrometer)是能譜儀指的是是電子顯微鏡（掃描電鏡、透射電鏡）的重要附屬配套儀器，結(jié)合電子顯微鏡，能夠在1-3分鐘之內(nèi)對(duì)材料的微觀區(qū)域的元素分布進(jìn)行定性定量分析的一種儀器。
XRF（X Ray Fluorescence）XRF指的是X射線熒光光譜儀，指的是通過(guò)檢測(cè)被測(cè)物不同元素所放射出的二次X射線能量、數(shù)量個(gè)波長(zhǎng)來(lái)進(jìn)行定量或者定性分析的一種儀器。