X熒光光譜儀廣泛應(yīng)用于眾多領(lǐng)域，因?yàn)樗膬?yōu)點(diǎn)有很多，如分析快速、制樣簡(jiǎn)單，準(zhǔn)確度高、對(duì)環(huán)境無(wú)污染等成為了不可或缺的設(shè)備。X射線熒光光譜儀主要由以下幾部分組成：激發(fā)系統(tǒng)，主要部件為X射線管，分光系統(tǒng)，探測(cè)系統(tǒng)，儀器控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。
X熒光光譜儀中有一個(gè)很小零部件，它就是濾光片。專業(yè)的講使用濾光片的目的是消除或降低X射線管發(fā)射的原級(jí)X射線譜，尤其是靶材的特征X射線譜對(duì)待測(cè)元素的干擾，可改善峰背比，提高分析的靈敏度。
一般來(lái)說(shuō)，我們把能量色散X射線熒光分析儀有兩種類型的濾光片：初級(jí)濾光片和次級(jí)濾光片。他們二者的放置位置是不同的哦，所以目的作用也不同。
初級(jí)濾光片是將濾光片置于光管和樣品間，其目的是為得到單色性更好的輻射和降低待分析元素譜感興趣區(qū)內(nèi)的由原級(jí)譜散射引起的背景。
次級(jí)濾光片是將濾光片置于樣品和探測(cè)器之間，主要是對(duì)試樣中產(chǎn)生的多元素X射線熒光譜線進(jìn)行能量選擇，提高待測(cè)元素的測(cè)量精度。