近年來，X熒光光譜儀分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個(gè)領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測(cè)領(lǐng)域應(yīng)用得zui多也zui廣泛的一種儀器。大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析，X熒光光譜儀可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍非常廣泛，以創(chuàng)想儀器EDX-6000型以及EDX-9000型來說，前者分析范圍可S（16）到U（92）之間的所有元素，后者可分析Na（11）到U(92)之間所有元素。并且具有分析速度快、測(cè)量范圍寬、干擾小的特點(diǎn)。X熒光光譜儀根據(jù)各元素的特征X射線的強(qiáng)度，也可以獲得各元素的含量信息。
? ?關(guān)于X熒光光譜儀的優(yōu)缺點(diǎn)
1、優(yōu)點(diǎn)
1) 適用范圍廣。X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測(cè)定 。
2) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。
3) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
4) 分析精密度高。
5) 非破壞分析，重現(xiàn)性好。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
6) 分析時(shí)間短。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素。
2、缺點(diǎn)
1）對(duì)輕元素的靈敏度要低一些。
? ? ? ?2）難于作分析，故定量分析需要標(biāo)樣。
3）容易受相互元素干擾和疊加峰影響。