對(duì)于不同的探測(cè)器，可從以下幾個(gè)方面來(lái)進(jìn)行比較。如探測(cè)器的探測(cè)效率、分辨本領(lǐng)、計(jì)數(shù)速度（死時(shí)間）和使用局限等。
1.探測(cè)效率：所謂探測(cè)效率就是入射光子在探測(cè)器激活區(qū)內(nèi)被吸收的比例或百分?jǐn)?shù)。探測(cè)器的探測(cè)效率與其體積，激活區(qū)前窗口或吸收層的種類(lèi)有關(guān)。探測(cè)器的一般尺寸如下：充氬或氙氣的正比計(jì)數(shù)器的直徑為25.4毫米，閃爍計(jì)數(shù)器閃爍晶體的直徑為12.7毫米，硅和鍺計(jì)數(shù)器的區(qū)域厚度（或稱(chēng)帶寬）為1毫米。
2.分辨本領(lǐng)：下圖比較了鈦、銅、鉬三輻射的脈沖幅度分布。當(dāng)波長(zhǎng)長(zhǎng)達(dá)幾個(gè)埃時(shí)，正比計(jì)數(shù)器的分辨率始終高于閃爍計(jì)數(shù)器，而固體計(jì)數(shù)器又高于正比計(jì)數(shù)器和閃爍計(jì)數(shù)器。當(dāng)波長(zhǎng)大于10埃時(shí)，由于半導(dǎo)體材料的電子噪音嚴(yán)重，故正比計(jì)數(shù)器的分辨率優(yōu)于固體計(jì)數(shù)器。
三種常用探測(cè)器對(duì)Ti、Cu、Mo輻射波長(zhǎng)的分辨率比較
3.計(jì)數(shù)速度（死時(shí)間）：當(dāng)計(jì)數(shù)率高達(dá)10000~30000 c.p.s（脈沖數(shù)/秒）時(shí)，上述三種探測(cè)器的恢復(fù)時(shí)間都很短，計(jì)數(shù)率由于探測(cè)器的死時(shí)間所引起的損失很小。為了進(jìn)行準(zhǔn)確的定量分析，當(dāng)計(jì)數(shù)率高于幾千c.p.s時(shí)，應(yīng)進(jìn)行死時(shí)間校正。若計(jì)數(shù)率的觀測(cè)值達(dá)10000 c.p.s且探測(cè)器及其電路的總死時(shí)間為3微秒，則1秒鐘內(nèi)探測(cè)器的休息時(shí)間為10^4×3×10^-6=3×10^-2秒，占整個(gè)時(shí)間的3%。也就是說(shuō)，有3%的入射光子漏計(jì)了；經(jīng)校正后的計(jì)數(shù)率為10^4/0.97=10.3x 10^4 c.p.s （脈沖數(shù)/秒）。一般說(shuō)來(lái)，若必須用上述簡(jiǎn)式作死時(shí)間校正，則計(jì)數(shù)率不應(yīng)超過(guò)某值，此值所需要的死時(shí)間校正高于10%。
4.使用局限：為滿(mǎn)足精密測(cè)量的需要，在使用流氣正比計(jì)數(shù)器時(shí)應(yīng)配備氣壓調(diào)節(jié)器或溫度調(diào)節(jié)器，以保持氣體密度恒定從而使X射線的吸收保持一致。然而，對(duì)于大量的日常分析，特別是在采用強(qiáng)度對(duì)比法時(shí)需要經(jīng)常測(cè)量標(biāo)樣以校正儀器操作條件，故不需要溫度調(diào)節(jié)器。在測(cè)定波長(zhǎng)大于10埃的長(zhǎng)波X射線時(shí)，所用的流氣正比計(jì)數(shù)器其窗口很薄，容易破裂，需要經(jīng)常更換。一般每操作數(shù)小時(shí)就需要更換一次。這給此種探測(cè)器的應(yīng)用造成很大的不便。
為了減少電子噪音，目前的固體計(jì)數(shù)器必須在低溫（冷凝）條件下進(jìn)行工作。但當(dāng)其它方法如γ射線照射能有效地阻擋未摻入雜質(zhì)的硅中剩余載流子移動(dòng)時(shí)，這種缺點(diǎn)是可以被克服的。當(dāng)熱電子冷卻得適當(dāng)，就可能出現(xiàn)一個(gè)中間周期。這種方式要比低溫冷卻方便得多。固體計(jì)數(shù)器極易因偏壓或溫度聚變而被損壞。
閃爍計(jì)數(shù)器中的光電倍加管如因正高壓加得過(guò)大而被毀壞則是無(wú)法修復(fù)的。當(dāng)水汽能透過(guò)防護(hù)層而浸入Nal晶體時(shí)，閃爍晶體因潮解而失效。閃爍計(jì)數(shù)器除上述缺點(diǎn)外是相當(dāng)耐用的。