臺式X熒光光譜儀所用原理和手持式X熒光光譜儀一樣，使用X射線原理來檢測物質的元素含量。在使用臺式X熒光光譜儀時，我們同樣需要注意使用方式，另外也要注意上機前的操作步驟。
臺式x熒光光譜儀對一些元素具有分析靈敏度高、干擾少、線性范圍寬、可多元素同時分析等特點，這些優(yōu)點使得該方法在冶金、地質、石油、農業(yè)、生物醫(yī)學、地球化學、材料科學、環(huán)境科學等各個領域內獲得了相當廣泛的應用。
1、在開啟儀器前，一定要注意先開啟載氣。
2、一定注意各泵管無泄露，定期向泵管和壓塊間滴加硅油。
3、臺式x熒光光譜儀在測試結束后，一定在空白溶液杯和還原劑容器內加入蒸餾水，運行儀器清洗管路。關閉載氣，并打開壓塊，放松泵管。
4、從自動進樣器上取下樣品盤，清洗樣品管及樣品盤，防止樣品盤被腐蝕。
5、更換元素燈時，一定要在主機電源關閉的情況下，不得帶電插拔燈。
6、當氣溫低及濕度大時，汞燈不易起輝時，可在開機狀態(tài)下，用綢布反復摩擦燈外殼表面，臺式x熒光光譜儀使其起輝或用隨機配備的點火器，對燈的前半部放電，使其起輝。
7、調節(jié)光路時要使燈的光斑照射在原子化器的石英爐芯的中心的正上方；要使燈的光斑與光電倍增管的透鏡的中心點在一個水平面上。