X射線熒光光譜儀是一種比較新型的無損、快速、便捷的并且可以對(duì)多元素進(jìn)行快速同時(shí)測(cè)定的儀器。在被測(cè)物在X射線激發(fā)下，被測(cè)元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級(jí)躍遷而發(fā)出次級(jí)X射線。
X射線熒光光譜儀又可分為波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）和能量色散型X射線熒光光譜儀（EDXRF）。
波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）??
事實(shí)上波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（EDXRF）。是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個(gè)物理量。
能量色散型X射線熒光光譜儀（EDXRF），用X射線管產(chǎn)生原級(jí)X射線照射到樣品上，所產(chǎn)生的特征X射線這節(jié)進(jìn)入Si-Li探測(cè)器，便可以據(jù)此進(jìn)行定性分析和定量分析，第一臺(tái)
能量色散型X熒光光譜儀是1969年問世的。近幾年，由于商品
能量色散型X熒光光譜儀儀器及儀表計(jì)算機(jī)軟件的發(fā)展，功能完善，應(yīng)用領(lǐng)域拓寬，其特點(diǎn)，優(yōu)越性日益受到認(rèn)識(shí)，發(fā)展迅猛。
能量色散型X熒光光譜儀
波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）是用晶體分光而后由探測(cè)器接收經(jīng)過衍射的特征X射線信號(hào)。如果分光晶體和探測(cè)器做同步運(yùn)動(dòng)，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內(nèi)各種元素所產(chǎn)生的特征X射線的波長及各個(gè)波長X射線的強(qiáng)度，可以據(jù)此進(jìn)行特定分析和定量分析。該種儀器產(chǎn)生于50年代，由于可以對(duì)復(fù)雜體進(jìn)行多組同時(shí)測(cè)定，受到關(guān)注，特別在地質(zhì)部門，先后配置了這種儀器，分析速度顯著提高，起了重要作用。隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步在60年初發(fā)明了半導(dǎo)體探測(cè)儀器后，對(duì)X熒光進(jìn)行能譜分析成為可能。
