X射線熒光分析是一種物理分析方法，X射線熒光光譜儀是由激發(fā)系統(tǒng)，分光系統(tǒng)，探測系統(tǒng)和儀器控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)這幾個主要部分構成。
激發(fā)系統(tǒng)主要是X射線管，可以發(fā)出原級X射線（一次X射線），用于照射樣品激發(fā)熒光X射線。分光系統(tǒng)是對來自樣品待測元素發(fā)出的特征熒光X射線進行分辨（主要為分光晶體）；探測系統(tǒng)用于對樣品待測元素的特征熒光X射線進行強度探測；儀器控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)用于處理探測器信號，給出分析結果。
X射線熒光分析的原理
下面一起和小編來學習下X射線熒光光譜儀的測試步驟吧。
第一、選擇分析方法與制樣方法。分析方法有很多，一般有基本參數(shù)法、半基本參數(shù)法、經(jīng)驗系數(shù)法等。制樣方法包括拋光法、壓片法、濾紙片法和熔片法，我們一般常用粉末壓片法制樣，采用基本參數(shù)法測試。
第二、將制備好的樣片裝進樣品杯，放入樣品交換器中，自動進樣至樣品室，X射線管發(fā)出原級X射線照射樣品，激發(fā)出待測元素的熒光X射線。
第三、樣品輻射出的熒光X射線通過分光晶體，將X射線熒光光譜色散成孤立的單色分析線，由探測器測量各譜線的強度，根據(jù)選用的分析方法換算成元素濃度，得到樣品中待測元素含量。