熒光光譜儀之所以是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測量方法，是因為x射線。這個射線能穿透過很多對可見光不透明的物質(zhì)，如墨紙、木料等。X射線不被我們?nèi)庋鬯匆?，但是它可以使很多固體材料發(fā)生可見的熒光。
最初X射線用于醫(yī)學(xué)成像診斷和X射線結(jié)晶學(xué)。后來，隨著人們X線生物學(xué)效應(yīng)的認識不斷提高，在新型X線設(shè)備中大量使用了新材料、新技術(shù)、新工藝，使這些設(shè)備的射線防護功能日益完善。X射線熒光光譜儀光譜法在化學(xué)分析
主要使用X射線束激發(fā)熒光輻射，到了現(xiàn)在，該方法作為非破壞性分析技術(shù)，并作為過程控制的工具，廣泛應(yīng)用于采掘和加工工業(yè)。原則上，較輕的元素，可分析出鈹（z=4），但由于儀器的局限性和輕元素的低X射線產(chǎn)量，往往難以量化，所以針對能量分散式的X射線熒光光譜儀，可以分析從輕元素的鈉（z=11）到鈾，而波長分散式則為從輕元素的硼到鈾。本功能是由儀器判斷所含元素與波峰的重疊情況，并自動選擇統(tǒng)計誤差較小的分析線。可以更加有效地管理精度、提高測量效率。
