什么是能量色散X射線熒光光譜儀？它是一種波長較短的電磁輻射，一般是指能局限在0.1^-100keV的光子。能量色散X射線熒光光譜儀主要由激發(fā)、色散、探測、記錄及數(shù)據(jù)處理等單元組成。
產(chǎn)生初級X射線的激發(fā)單元。它由高壓發(fā)生器和X光管組成。后者功率較大，用水和油同時冷卻。色散單元的作用是分出想要波長的X射線。它由樣品室、狹縫、測角儀、分析晶體等部分組成。?
能量色散X射線熒光光譜儀是通過物質(zhì)中的構(gòu)成元素發(fā)生的特征輻射后，經(jīng)過側(cè)里和剖析樣品發(fā)生的x射線熒光，就可以得到樣品中的元素構(gòu)成，獲得物質(zhì)成分的定性和定量信息。能量色散X射線的發(fā)生與特征當(dāng)用高能電子束照耀樣品時，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負(fù)的加快度會發(fā)生寬帶的延續(xù)X射線譜，簡稱為延續(xù)潛或韌致輻射。另一方面，化學(xué)元素遭到高能光子或粒子的照耀，如內(nèi)層電子被激起，則當(dāng)外層電子躍遷時，就會放射出特征X射線。
當(dāng)x射線撞擊原子中的電子時，如光子能量大于原子中的電子約束能，電子就會被擊出。這一互相效果進(jìn)程被稱為光電效應(yīng)，被打出的電子稱為光電子。經(jīng)過研討光電子或光電效應(yīng)可以取得關(guān)于原子構(gòu)造和成鍵形態(tài)的信息。
創(chuàng)想能量色散X射線熒光光譜分析儀