近幾年來(lái)X熒光光譜儀是日漸興起的一種較新型的儀器，它可以無(wú)損對(duì)多元素進(jìn)行快速同時(shí)測(cè)定的儀器。X熒光光譜儀是可以分為波長(zhǎng)和能量?jī)煞N的，它們是從不同的角度來(lái)觀察描述X射線所采用的兩個(gè)物理量的。
波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀，是用晶體分光而后由探測(cè)器接收經(jīng)過衍射的特征X射線信號(hào)。如果分光晶體和控測(cè)器作同步運(yùn)動(dòng)，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內(nèi)各種元素所產(chǎn)生的特征X射線的波長(zhǎng)及各個(gè)波長(zhǎng)X射線的強(qiáng)度，可以據(jù)此進(jìn)行定性和定量分析。
能譜色散型X熒光光譜儀，用X射線管產(chǎn)生原級(jí)X射線照射到樣品上，所產(chǎn)生的特征X射線(熒光)直接進(jìn)入半導(dǎo)體探測(cè)器，便可以據(jù)此進(jìn)行定性分析和定量分析。
x射線熒光光譜儀xrf基礎(chǔ)知識(shí)
后來(lái)隨著X射線偏振器的誕生，產(chǎn)生了一款新型的能量色散X熒光光譜儀，既偏振式能量色散X熒光光譜儀，再加上SDD探測(cè)器的使用，提高了儀器的分辨率，免去Si(Li)探測(cè)器使用液氮冷卻的繁瑣和危險(xiǎn)，讓用戶購(gòu)買和使用X熒光儀器的成本大大減低，所以總的來(lái)說(shuō)能量色散X熒光光譜在分析領(lǐng)域還是更受歡迎的。